低粘度礦物油霧的質量中值直徑范圍為5到110微米。可溶性油霧的質量中值直徑在40到80微米之間變化，平均幾何標準偏差為2.4，不受任何參數的影響。

當油霧超標的時候，需要采用計數濃度法，即通過測定潔凈環境內單位體積空氣中含大于或等于某粒徑的懸浮粒子數，來評定該潔凈室的潔凈度等級。測試方法采用ISO14644.1《Cleanrooms and asociated controlled environments-Part 1 Classification of air cleanliness》以及GB/T16292-2010《醫藥工業潔凈室（區）懸浮粒子的測試方法》。為確認*潔凈區的級別，每個采樣點的采樣量不得少于1m³。*潔凈區空氣懸浮粒子的級別為ISO4.8，以≥5.0um的懸浮粒子為限度標準。B級潔凈區（靜態）的空氣懸浮粒子的級別為ISO5，同時包括表中兩種粒徑的懸浮粒子。對于C級潔凈區（靜態和動態）而言，空氣懸浮粒子的級別分別為ISO7和ISO8。對于D級潔凈區（靜態）空氣懸浮粒子的級別為ISO8。

 為了檢測的相互驗證，建議壓縮空氣檢測同時檢測油水塵微生物。因為油超標，會滋生微生物，顆粒物超標，定期的檢測，可及時維護過濾器，管道等配件，防止污染產品。